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雷火电竞竞猜:电弧增材制造:汽车、航天、液压等行业金属加工过程中的挑战

发布时间: 2022-05-17 15:15:41 来源:雷火电竞体彩app下载平台 作者:雷火电竞竞猜

  本研究回顾了大规模工业机器人增材制造的技术、材料和方法,讨论了各种材料增材制造的优缺点。本文为第二部分。

  钢材因其高强度、高韧性和低成本而广泛应用于各种工业部门。对钢的AM进行了广泛的研究,尤其是WAAM。值得一提的有:ER70S-6、304不锈钢、308L不锈钢和AISI 420不锈钢。

  在316L奥氏体不锈钢的情况下,据报告,与锻造零件相比,LDED制造零件具有更高的硬度、屈服应力和抗拉强度以及更低的伸长率。机械性能的这些差异归因于与锻造钢相比,LDED制造钢的臂间距更细。LDED制造的316L不锈钢的晶粒结构高度依赖于工艺参数,其中晶粒通过增加功率密度和降低扫描速度变得更粗。据报道,通过GMAW-AM制造的316L不锈钢具有更高的硬度和UTS,但伸长率低于锻钢。GMAW-AM制造的316L不锈钢的组织和力学性能取决于电弧模式。当喷射转移模式被短路转移模式取代时,可获得更细的晶粒尺寸(从而获得更高的强度和硬度)。这是因为短路的热输入比喷淋传输模式低,从而导致更快的冷却速度。

  AM中另一种常见的钢级是17-4 PH马氏体不锈钢。然而,与DED相反,大部分工作都是在粉末床方法上进行的。与所选AM工艺相关的高冷却速率限制了高温下δ-铁素体向γ-奥氏体的转变,因此在室温下仍保留一定数量的δ-铁素体。AM制造的17-4 PH不锈钢通常在板条马氏体基体中表现出枝晶间δ铁素体的枝晶显微结构。已经证明,必须使用17-4的PTA-AM进行适当的屏蔽,以防止制造过程中的层间氧化。

  Caballero等人使用GMAW-AM技术从金属丝原料中制备了17-4PH不锈钢。他们报告说,减少系统的热输入会提高凝固速度,进而增加竣工微观结构中的残余奥氏体数量。此外,与锻造17-4 PH不锈钢相比,竣工零件具有更低的屈服应力和UTS。然而,暴露于溶液和时效热处理后,其屈服应力和UTS显著增加,与锻造合金相当。

  Adeyemi等人研究了激光功率对LDED制造的17-4 PH不锈钢微观结构的影响。他们在高激光功率下观察到了粗糙的微观结构,这是由于高激光强度,因此冷却速度较慢。在另一项研究中,Martina等人使用串联GMAW焊炬,用17-4 PH不锈钢丝制作墙壁。他们报告说,随着送丝速度的增加,沉积壁的强度和硬度下降,这归因于晶粒尺寸的增加。

  不同加工参数下L-DED打造316L不锈钢单扫描轨迹SEM显微图:(a-d)扫描速度;粉进料速度;激光能量

  在DED装配钢零件中,微观结构和机械性能的各向异性都非常重要。微观结构晶粒和树枝晶优先沿着具有最高热梯度的构建方向定向。因此,对于构建方向平行于变形方向的垂直定向零件,与拉伸方向垂直于构建方向的水平定向零件相比,存在较少的晶界。由于晶界在变形过程中起着阻碍位错运动的作用,垂直取向部分的位错积累比水平取向部分少。

  因此,与水平方向部件相比,垂直方向部件表现出较低的拉伸强度,但较高的延伸率。LDED制造的304L不锈钢、WAAM制造的304L不锈钢、LDED制造的316L不锈钢、WAAM制造的316L不锈钢、WAAM制造的H13工具钢和WAAM制造的17-4 PH不锈钢的机械性能存在各向异性。

  图6 WAAM制造304L不锈钢垂直方向(L1、L2和L3)和水平方向(T1、T2和T3)的拉伸图。

  例如,零件方向对WAAM制造304L不锈钢拉伸性能的影响如图6所示。垂直方向件(L1、L2和L3)的平均屈服应力为231 MPa, UTS为622 MPa,伸长率为88.1%。然而,据报道,水平方向零件(T1、T2和T3)的平均屈服应力、UTS和伸长率分别为235 MPa、678 MPa和55.6%。对于大多数工业应用,装配零件需要表现出均匀的机械性能。因此,AM钢零件机械性能的各向异性是一个挑战。

  为了解决这个问题进行了几项研究。Wu等人研究了通过快速冷焊AM制造的316L不锈钢部件机械性能的各向异性。他们观察到,通过降低扫描速度和增加冷却时间,各向异性显著降低。这归因于冷却速率的降低。Wang等人报告,WAAM制造的H13钢在830℃下退火4小时后,其机械性能变得各向同性。在另一项研究中,Fu等人采用WAAM和微轧制相结合的方法消除了贝氏体钢机械性能的各向异性。这种混合技术的完全等轴晶粒结构导致各向同性机械性能。

  钛合金因其高强度重量比而广泛应用于航空航天工业。钛合金的同素异形性质,除了与AM技术相关的高温热循环外,还考虑了各种微观结构,因此也考虑了机械性能。此外,由于钛合金的可加工性差,具有复杂几何形状的钛部件无法使用传统制造技术轻松制造。Ti的低导热性导致加工过程中散热不良,导致表面质量和精度较差,并降低了加工刀具寿命。

  这些因素使钛合金成为AM有吸引力的候选者。Ti–6Al–4V(Ti64)合金包含hcpα相和bccβ相的同素异形显微结构,是所有金属合金中制造最广泛的合金。AM制造的Ti–6Al–4V合金比铸造和锻造等传统制造技术具有更高的强度,但延展性较低。这可以通过与所选AM技术相关的高冷却速率形成α′-马氏体来解释。AM制造的Ti–6Al–4V部件的延展性可以通过采用热处理来提高,但代价是降低材料的整体强度。

  不同工艺参数下(a) L-PBF[90]、(b,c) L-DED和(d-f)激光焊接[83]钢的熔池形貌变化。(a)中显示的数字表示熔池对应的激光功率(W)。

  Zhai等人使用高功率激光器制造Ti-6Al-4V组件,结果获得了建造时的UTS和伸长率分别为1042MPa和7%。使用GMAWand脉冲等离子弧AM制造的Ti–6Al–4V合金具有类似的机械性能。这些发现可以通过微观结构的相似性来解释,在微观结构中,观察到细小的针状α′-马氏体和少量的α+β片晶。对于LDED,当激光功率从780降低时 W至330 W、 α′-马氏体和α+β片晶的混合微观结构被完全马氏体微观结构所取代。这是由于激光功率降低导致冷却速度加快所致。微观结构变化导致UTS从1042提高到1103 MPa,但伸长率从7%下降到4%。

  在DED制备的钛合金中,沿构建方向的柱状晶粒和β001的强晶体学织构导致各向异性微观结构。微观结构的各向异性导致机械性能的各向异性。通常,水平制造的零件比垂直制造的零件具有更高的屈服应力和UTS,但伸长率较低。对于LDED制造的Ti–6Al–4V合金、LDED制造的TC21合金、LDED制造的TA15合金和WAAM制造的Ti–6Al–4V合金,已经观察到这种行为。各向异性机械性能可以通过获得具有随机晶体取向的等轴晶粒结构来消除。通过使用沉积层之间的层间轧制,在AM期间添加晶粒细化元素,通过改变工艺参数(例如,增加送粉速率和降低激光能量密度)和应用后处理热处理的方式,可以实现这种微观结构。这些程序可以将DED预制钛合金的应用扩展到需要在各个方向上表现出均匀机械性能的部件中。

  铝合金具有高强度、低密度、良好的延展性和耐腐蚀性,是工程构件中应用最广泛的有色金属合金。铝合金的增材制造比钢和钛合金更具挑战性,因为它们具有高导热性。因此,在调幅期间,需要增加不同热源的功率,以防止快速散热。当热源是激光束时,这种情况尤其普遍,因为铝合金具有高反射率。反射激光可能会损坏光学系统,这可以通过向激光头引入短z轴倾斜来抵消。

  热源功率的增加会导致某些合金元素(如锌和镁)在制造过程中蒸发,从而由于气体截留而产生孔隙。这限制了AM可以制造的铝合金的范围。铝还在原料材料上形成一层强的被动氧化层,降低了制造过程中熔体的润湿性。存在较大的凝固范围是限制铝合金AM的另一个因素。合金元素在凝固过程中的偏析降低了晶界的熔化温度,形成了一层液膜。铝的高热膨胀引起的热应力可导致晶界沿晶断裂,导致热裂纹。已经证明,硅的加入通过减小凝固范围、增强流动性和降低热膨胀系数来降低热裂纹的敏感性。

  此外,它形成了一种精细的低熔点共晶结构,可以回填裂纹并增加晶界面积,防止裂纹扩展。在铝合金中,AlSi10Mg是最广泛使用的AM制造合金,尽管也研究了其他合金,如Al 5356和Al 4043。该合金为亚共晶铝硅合金,成分接近共晶。少量镁的存在(≈1wt.%)使该合金可通过Mg22Si沉淀进行时效硬化。AlSi10Mg合金的机械性能主要取决于共晶相的形态和尺寸。浇铸过程中冷却速度越慢,晶胞结构越大,胞间硅颗粒越大。较大的Si颗粒作为裂纹萌生点,很容易通过较大的细胞结构传播,导致强度低和延展性差。然而,具有高凝固速率的AM技术可以细化共晶相,从而提高合金的机械性能。

  镍合金因其在高温下的高强度和抗氧化性而广泛应用于燃气轮机发动机、核反应堆、火箭发动机、潜艇和航天器。在选定的AM技术中使用了各种镍合金,包括Inconel 625(In625)、NiCrBSi合金、Inconel 718(In718)和Ni–Fe–v合金。AM制造的Inconel 718通常产生FCCγ的枝晶结构,Nb和Mo偏析到枝晶间区域,其特征是形成Laves相((Ni,Cr,Fe)2(Nb,Mo,Ti))。Laves相的存在通过耗尽Nb基体抑制γ(Ni33Nb)的形成,γ(Ni33Nb)是In718优异机械性能的主要贡献者。

  与铸态Inconel 718相比,与AM相关的快速冷却速度导致更精细的微观结构和更少的偏析,从而产生类似或略优的机械性能。由于缺乏沉淀强化和沉积过程中缺陷的积累,与锻造的铬镍铁合金718相比,建成AM镀层的性能较差。这可以通过热处理或热等静压(HIP)进行补救。采用脉冲等离子弧(PPA) AM制备的Inconel 625高温合金的屈服应力、UTS和伸长率分别为438 MPa、721 MPa和49%。通过GMAW-AM技术制造的同一高温合金具有类似的机械性能。

  这些机械性能大于铸态Inconel 625高温合金的机械性能。这可以通过在AM-Build Inconel 625高温合金的微观结构中观察到更细的树枝晶和沉淀来解释。然而,PTA-AM或GMAW-AM制造的Inconel 625的屈服应力和UTS不如锻造Inconel 625的屈服应力和UTS高。这可归因于变形高温合金的细等轴晶粒结构。据报道,LDED制造的Inconel 625高温合金具有较高的屈服应力(540 MPa),但UTS较低(690 MPa)和延伸率(36%)高于锻造高温合金。

  镁合金是最轻的工程金属,其密度约为1.74gcm−3,显著低于钢、钛合金和铝合金。虽然镁合金的应用由于其低耐腐蚀性和较差的机械性能而受到限制,但其生物相容性和弹性模量可与人类骨骼相媲美,使其成为具有吸引力的生物医学应用的候选材料。此外,镁合金广泛用于制造可溶解井下工具,这需要较高的比强度和腐蚀速率。

  由于镁合金在室温下的主动滑移系统有限,以及在高温下的高氧化速率,通过锻造和挤压等成形工艺制备镁合金的方法受到了限制。此外,镁合金的铸造不允许制造具有复杂几何形状或获得良好机械性能所需的精细微结构的零件。因此,AM技术正在探索以镁合金独特的微结构和高性能为目标。Guo等人使用GTAW-AM方法用AZ80M合金线制备了单道多层壁。初建组织主要由α-Mg和β-Mg17Al12组成,少量的Al2Y相。这种相组合是典型的变形AZ80M镁合金。GTAW-AM制备的AZ80M合金的机械性能与锻造样品无显著差异。

  在另一项研究中,Guo等使用GTAW-AM技术,利用不同的脉冲频率(从1到500 Hz),用AZ31合金导线制作了全密实元件。当脉冲频率为5或10 Hz时,晶粒结构最好,机械性能也最好。GMAW-AM工艺也用于AZ31B合金线材的制造。据报道,预制件中孔隙的尺寸和体积分数都显著低于压铸镁合金中的孔隙。与锻造合金相比,GMAW-AM制备的AZ31B合金具有更高的伸长率,但屈服应力较低。然而,GMAW-AM制备的AZ31B合金的UTS与锻造合金的UTS相当。

  铜和铜合金由于其高导电性和导热性,被广泛用于制造散热器、电线、模具刀片、母线、冷却部件和电动机。增材制造允许用铜制造复杂的几何形状,如内部冷却通道,同时减少所需材料和缩短制造周期。然而,在AM制备的铜件中,尺寸精度较差,且存在显著的孔隙。这些问题的原因是由于铜的高导热性导致了AM期间的快速散热。因此,使用选择的AM技术制造铜元件的研究有限。

  Dong等人在Cu–9等 铝部件使用GTAW-AM,其中单独的纯铜和铝导线被送入一个熔体池。GTAW-AM的快速凝固导致了在构建条件下主要由Cu9Al4和CuAl2金属间化合物组成的组织。预制件的均质热处理减少了金属间相的数量,提高了屈服应力、UTS和伸长率。在另一项研究中,Shen等人使用多轴GMAW-AM技术制备了Cu-Ni-Al部件,并将其与传统铸造的相同部件进行了比较。AM制备的显微组织中k相的体积分数较低,但金属间相的含量较高。这是由于与GMAW-AM过程相关的高冷却速率抑制了共析反应。

  图2 采用大型机器人AM技术的公司示例(a)由相对论空间公司制造的火箭喷嘴[42]和(b)由MX3D制造的串行机械手组件

  钴铬合金具有优异的耐磨性、高温硬度、耐腐蚀性和生物相容性。它们广泛用于切削工具、燃气轮机、内燃机、外科假肢和机关枪枪管。然而,它们的高硬度和低导热系数在切削过程中迅速提高了它们的温度,使这些合金非常难以加工。因此,AM是制造Co-Cr零件的一个很好的候选材料。

  AM制备的组织主要由共基体枝晶和枝晶间共晶组成,与铸态组织相似。然而,AM构件的枝晶分支和共晶结构都明显优于铸造构件。这可以解释为选择的AM技术相比铸造显着更高的冷却率。由于AM零件的凝固组织较细,枝晶间共晶碳化物大多为片层形貌。这与通常在铸造组织中观察到的粗块状共晶碳化物形成对比。这就解释了AM部件与铸件相比具有更高的硬度、屈服应力和UTS。然而,与变形Co-Cr合金相比,AM制备的Co-Cr合金的碳化物体积分数和硬度值相当。

  此外,据报道,AM部件在干砂/橡胶轮试验条件下的耐磨性低于锻造件。这是由于AM沉积的层状碳化物形成了一个连续的网络,在磨损测试中很容易被移除。通过后处理热处理可以提高AM Co-Cr合金的机械性能和耐蚀性。据报道,在不进行时效处理的情况下,对预制构件进行固溶热处理,可获得硬度、耐磨性和耐腐蚀性的最佳组合。

  钨及其合金因其熔点高、热膨胀系数低、抗拉强度高、抗蠕变性能好,被广泛应用于许多高温应用领域,如准直仪、电弧焊电极、火箭喷嘴和高温炉中的加热元件等。然而,它们的室温低延性和高的韧脆性转变温度限制了它们的制备能力。粉末冶金(PM)技术通常用于制造钨件。然而,由于模具/模具几何形状的限制,用粉末冶金技术制造复杂几何形状的零件具有挑战性。此外,由于钨合金熔点高,气孔是粉末冶金制品中常见的缺陷。

  因此,AM可以被认为是制造具有复杂几何形状的全密集W元件的有前途的候选人。Marinelli等人利用一种前端送丝方法,采用GTAW-AM技术,用纯W线制造无缺陷零件。据报道,晶粒结构和结构缺陷(如气困孔、锁孔和未融合)的数量都高度依赖于送丝的方向。在另一项研究中,Zhong等人使用LDED技术从纯W和W - ni粉末中制备准直元件。沉积后的零件微观结构中未观察到裂纹或孔隙。Fe和Co的加入提高了LDED W-Ni合金的抗拉强度和伸长率。

  计算机渲染显示相对论空间的火箭人族从卡纳维拉尔角的LC-16发射台发射。

  本节将重点讨论由于缺陷与材料或沉积系统之间缺乏相关性,在不同沉积技术中发现的Ti-6Al-4V镀层中的缺陷。发现的缺陷是典型的各向异性组织,孔隙率,热残余应力,缺乏熔合和开裂。这些缺陷在LDED, GMAW, GTAW, PTA和EB镀层中发现。消除这些缺陷是一个挑战,将需要克服之前完全商业化的AM,特别是大型零件。一些正在探索的补救方法是HIPing,热轧,喷丸和冷加工。

  本节介绍了在第2节中讨论的在文献中常见的AM技术的各种考虑的制造平台。在本文中,AM制造平台被认为是能够携带、平移和可能重新定向沉积系统(如激光熔覆头或GMAW焊枪)的任何驱动机械平台,并具有所需的精度。或者,该系统可以被设计为平移和重新定位印刷组件的基板,或者是基板的重新定位和沉积系统的平移的组合。平台可以编程进行沉积轨迹,包括沉积系统的完整集成,其中参数可以调整,沉积可以激活和关闭。

  这一节中介绍了各种系统类型的审查,以及大规模金属AM评估。表4列出了本节涉及的平台类型及其优缺点。无支撑打印是上述平台在制造过程中重新定位组件的能力,以充分实现多向沉积,这允许通过重新对齐打印方向与重力矢量无支撑打印。本节所讨论的系统仅限于能够多向沉积的系统。需要注意的是,每个参考出版物的资料列在表5中。不过,Mg, Cu, Co-Cr和钨合金在任何参考著作中都没有提及,也不会被包括在内。

  Anzalone等人、Nilsiam等人和Lu等人等人引入了开源制造平台,该平台的基板由一个平行机构驱动,允许5自由度(DOF)运动,从而实现多方位沉积。基板可以在所有三个方向(x, y和z平面)平移,并围绕两个水平坐标旋转。然而,当使用所提出的系统制造样品组件时,旋转能力没有被利用。在每个系统中,沉积系统(GMAW)被刚性地安装在驱动基板之上。

  图7 具有多方向沉积能力的AM平台示例:(a)一个5轴WAAM平台,(b)一个基于平行机构的WAAM系统,(c)一个6轴机器人聚合物AM平台,(d)一个8轴机器人LDED平台,(e)一个协同多机械手平台。

  Anzalone等人提出的系统如图7(b)所示。就所使用的硬件规模和类型而言,每个系统都具有很高的成本效益。然而,这些系统有一个有限的建造体积和重新定位的角度,使他们不适合更大的部分。另一个限制是有效载荷可扩展性的限制,因为构建板的驱动系统承载了整个构建的重量。

  在文献中发现的另一种能够实现5轴AM的系统类型是标准数控铣削系统,该系统采用了沉积系统,如GMAW或LDED包层头,分别在2.1节和2.3节中介绍。数控铣床现有的工艺规划和计算机辅助制造(CAM)基础设施可以与这些沉积系统集成,使其成为一个受欢迎的工业选择。这一建立的管道的技术将是重要的流线轴AM系统,特别是一个有限的尺寸的组件。

  Panchagnula等人在他们的数控铣削系统的刀具主轴的一侧安装了一个GMAW焊炬,使其可以在三维平面上移动。此外,数控铣削系统配备了一个2轴定位器(见图7a),使基板可以倾斜和旋转。自由度的组合允许多向沉积,因此可以制造无支撑元件。Tabernero等人和Calleja等人推出了另一个五轴金属AM平台,其中的数控铣削系统采用了激光熔覆系统,具有与Panchagnula等人相似的能力。

  除了上述5轴平台,还有商用的5轴混合动力金属AM平台,如Mazak INTEGREX i-400 AM和DMG Mori LASERTEC 65 3D混合动力。这两个平台都配备了一个LDED沉积系统和一个刀具主轴。一个组件是首先制造,或一个功能是通过AM添加到一个现有的组件。最终完成的部件或特征,然后通过铣削表面,以一个精确的尺寸。这种加法和减法制造的组合在行业中越来越受欢迎,因为缺少几何约束的AM加上减法制造提供的表面公差。这提供了目前单独使用任何一种技术都无法实现的独特功能。

  Wu等人和Dai等人首先介绍了另一个可能用于金属AM的平台,如图7(c)所示。该平台由6轴串联机械手和在该机械手上方刚性安装的沉积系统组成。所述基板安装在机械手的工具法兰上,可进行自由度移动,实现多向沉积。虽然Wu和Dai等人都将聚合物挤出机作为沉积系统,但简单的修改可以使其与第二节介绍的金属沉积系统兼容。这个命题的一个固有的限制是,组件的大小被限制到机械手的最大有效载荷,可能限制了大型金属部件的可伸缩性。

  一个更适合的金属AM制造平台使用一个大规模的串行机械手来携带沉积系统(6 DOF),而组件是在一个两轴定位器(2 DOF)上制造的,这样整个系统提供8 DOF。这些系统与前面介绍的基于平行、基于5轴龙门和基于6轴机械手的平台相比有很多优点。与5轴系统相比,当6轴机械手携带沉积系统时,沉积头的方向可以在所有三个旋转方向上改变。

  这种改变方向的能力也促进了切向连续性,允许更平滑的表面抛光,并优化材料进入熔体池的角度,同时保持与重力矢量的对齐,以实现多向沉积。例如,在基于gmaw的沉积过程中,特定的拉拽角度可以帮助实现所需的珠粒几何形状。自20世纪80年代以来,焊接复杂曲面轮廓的另一个显著优势是8轴机械手和定位器组合的冗余性。在运动学系统中,冗余是指当自由度大于完成所需的自由度时。因此,冗余意味着运动学优势,如增强的相对可达性和灵巧性之间的加工部件和沉积系统。

  机械手与定位器之间的协调运动具有以下优点:减少执行时间,增加运动优化和避碰的灵活性,最大化机械手的工作空间,以及利用光滑路径跟踪光滑拐角的能力。一般来说,机械手/定位器组合已用于焊接应用超过30年。因此,使用这些平台进行DED沉积是机器人研究的自然延伸,之前的研究可以无缝地利用。

  Dwivedi等人提出了在DED中使用8自由度系统的第一个例子,其中径向部件使用多向沉积技术制造。作者使用一种基于粉末的LDED系统用于金属沉积安装在机械手的工具法兰上。Ding等人(见图7d)和Zheng等人提出的等效平台也使用基于粉末的LDED作为沉积系统。Ding等研究了将6轴机械手与2轴定位器进行增强,共8自由度进行多向沉积,如图7d所示。

  在制造螺旋桨时,作者消除了对支撑结构的需要,它包括一个核心体(轴)和径向悬垂特征(螺旋桨叶片)。这种元件很难用传统的减法制造。利用基于弧焊沉积技术的平台与8轴运动平台相结合的研究较少,而不是基于焊锡沉积技术的平台。Ma等人使用这样一个平台进行铝的实验试验。此外,在阿尔伯塔大学和加拿大埃德蒙顿的InnoTech的合作中,本研究的作者已经使用了一个机器人大规模WAAM平台(如图1所示),目前正在进行针对优化沉积参数的参数识别的初步研究。

  机器人大规模金属AM的一个有趣的扩展是使用多个移动机械手,每个携带一个沉积系统。Zhang等人已经在土木工程领域对使用AM制作混凝土构件的平台进行了研究。研究人员提出了一个由两个6轴机械手组成的平台,每个机械手由一个完整的移动平台进行移动,每个机械手的工具法兰上都安装了一个混凝土沉积喷嘴(见图7e)。完整的移动平台可以在不改变平台方向的情况下向任意方向(侧向或向前)移动,这意味着机械手可以以最佳的时间和轨迹到达制造空间中的任意位置。

  Zhang等人发现,该平台最显著的优势是能够制造比一个机械手所能达到的范围更大的部件。平台的移动性扩展了每个机械手的使用范围,显著提高了制造的可扩展性和持续时间。通过增加系统中移动机械手的数量,可以提高系统的可扩展性。相关的研究挑战包括机器人定位、多机器人协调(如群体智能)和无碰撞运动规划,以及机器人放置精度和优化。虽然Zhang等人提出的平台不具备多向沉积的能力,但为了便于多向沉积,可以在多机械手平台上增加大规模多轴定位系统。

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